真空热处理指模具钢在真空度为133.32Pa~133.32*10-6Pa的物质空间中进行的热处理工艺。模具钢在真空加热时，引起表面的物理状态以及化学成分的显著变化，随着真空度的提高，加热室内气体分子浓度可以由一个大气压下2.7*1019分子/cm3降低到3*10-13分子/cm3。

与此同时，氧的分压降低到极低，因此，不仅使金属不会在加热过程中发生氧化，脱碳以及其他化学腐蚀，而且还具有表面净化，脱脂，除气等作用，还可以得到洁净光亮的表面。模具钢经过真空热处理后，不仅可以获得洁净光亮的表面，而且其使用寿命也获得大幅度提高，同一般热处理相比，使用寿命提高40%以上。另外，真空热处理不发生氧化脱碳，所以模具针对氧化脱碳而设定的加工余量就可取消，就可降低模具钢的消耗，削减模具的制造成本。正是基于此，一些模具采用真空热处理。

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